PERSONAL DE APOYO
MARCHI Maria Claudia
congresos y reuniones científicas
Título:
LITOGRAFIA POR HAZ DE ELECTRONES
Autor/es:
M. CLAUDIA MARCHI
Lugar:
Bahía Blanca
Reunión:
Taller; TALLER DE TECNICAS DE MICROSCOPIA ELECTRONICA; 2013
Institución organizadora:
CCT BB
Resumen:
Presentación oral en los que se expusieron los siguientes temas: Etapas básicas de litografía Tipos de resist, etc. Aplicaciones EBL¿Qué hicimos?Parte experimentalEjemplos
