INVESTIGADORES
CARBONETTO SebastiÁn Horacio
congresos y reuniones científicas
Título:
Desarrollo de un Sistema para la Obtención Rápida de Curvas Capacidad-Tensión en Dispositivos MOS. Aplicación al Estudio de Dieléctricos de Alto K.
Autor/es:
KASULÍN, A.; SAMBUCO SALOMONE, L.; CARBONETTO, S. H.; GARCÍA INZA, M. A.; LIPOVETZKY, J.; CAMPABADAL, F.; REDIN, E. G.; FAIGON, A.
Lugar:
San Justo, Buenos Aires, Argentina
Reunión:
Congreso; Congreso de Microelectrónica Aplicada; 2010
Institución organizadora:
Universidad Nacional de La Matanza, Universidad Tecnológica Nacional (Haedo)
Resumen:
Este trabajo presenta el desarrollo de un sistema para la obtención rápida de curvas Capacidad-Tensión y los primeros resultados obtenidos al aplicarlo para el estudio de las características del HfO2 utilizado como aislante de compuerta.
