CRECIMIENTO DE PELÍCULAS DELGADAS DE SNO2:F POR MEDIO DE LA TÉCNICA DE ROCÍO PIROLÍTICO (SPRAY PIROLISIS)

F. GARCÉS; R.R. KOROPECKI; R.D. ARCE

Montevideo

Congreso; Reunión Conjunta SUF-AFA 2011; 2011

SUF-AFA

Películas delgadas de oxido de estaño dopado con fluor (SnO2:F) han sido depositadas sobre sustratos de vidrio por medio de la vía de spray pirolisis. Para estas se utilizó como precursor del óxido, el tetracloruro de estaño y como dopante el fluoruro de amonio, estos son disueltos en etanol y agua desonizada para la hidroxilación y formación del sol de estaño. La concentración del dopante fue fijada al 5% en relación a el porcentaje de Sn presente en la solución de SnCl4·5H2O 0.2 M. Diferentes técnicas de caracterización fueron utilizadas, incluyendo difracción de rayos X (DRX), microscopia de fuerza atómica (AFM) y espectroscopia de transmisión (UV, vis.), para la caracterización estructural y morfológica de las películas. A través de la caracterización por difracción de rayos X, se observo que al aumentar los tiempos de deposición se presenta una amorfización del material, presentando una disminución en el tamaño de cristalito y observándose una disminución de las orientaciones preferenciales como la (200). Esto se corresponde con mediciones superficiales de AFM, en donde se observa un aumento de la rugosidad superficial y a su vez un aumento en el tamaño de grano, lo que sugiere la formación de islas de mayor tamaño con el aumento del tiempo de deposición. Además se analizo las resistividades de las películas sintetizadas, observándose un mínimo de resistividad para muestras crecidas sobre 380ºC con 15 minutos de deposición. Para tiempos mayores la resistividad del material aumenta y se contrasta con el aumento de la rugosidad superficial y a su vez con el tamaño de grano