Centro de Microscopías Avanzadas: diferentes técnicas abordadas con el SEM

MARÍA CLAUDIA MARCHI; SILVIO LUDUEÑA; LÍA I. PIETRASANTA

Encuentro; Encuentro CNEA “Superficies y Materiales Nanoestructurados”; 2010; 2010

En el Centro de Microscopías Avanzadas se ha instalado recientemente un microscopio electrónico de barrido por emisión de campo (FEG-SEM) de la firma Carl Zeiss NTS, modelo SUPRA 40. El equipo tiene accesorios como el sistema HKL avanzado con cámara EBSD, el sistema de microanálisis de Rayos X por energía dispersiva (EDX), y el sistema generador de nanopatrones (NPGS) para nanolitografía. Su funcionamiento fue optimizado con la instalación de un sistema de cancelación de campo magnético y de aislación activa a las vibraciones. En este trabajo presentaremos resultados obtenidos con las diferentes técnicas