Dispositivos opto-mecánicos basados en semiconductores III-V

PRADO, AYELÉN; PEREZ MORELO, DIEGO; SALAZAR ALARCON, LEONARDO; PASTORIZA, HERNÁN

Encuentro; XXI Encuentro de Superficies y Materiales Nanoestructurados (NANO 2022); 2022

Los semiconductores III-V constituyen una plataforma para la fabricación de nuevos dispositivos que integran las aplicaciones optoelectrónicas importantes en distintas áreas como telecomunicaciones, energía, defensa y física fundamental. En nuestro país en los últimos años se comenzó a incursionar en la fabricación de este tipo de dispositivos gracias a una iniciativa de la Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA).Actualmente en la sala limpia Bariloche se cuenta con la capacidad de crecer, caracterizar[1] y procesar heteroestructuras de AlxGa1-xAs. En este trabajo en particular se apunta a combinar dos características propias de estas heteroestructuras: la posibilidad de manipular la luz mediante la fabricación de cristales fotónicos [2], y la estructuración en osciladores mecánicos [3] . Para ello es necesario escoger adecuadamente la composición y espesor de cada capa, a fin de lograr el confinamiento óptico deseado pero a la vez poder aprovechar la selectividad de determinadosataques químicos para lograr liberar a la estructura. En los últimos meses hemos simulado[4], crecido y caracterizado ópticamente estas cavidades compuestas por estructuras tipo DBR-Cavidad-DBR . Por otro lado, hemos trabajado en la fabricación de resonadores mecánicos, en su actuación y en la detección de su respuesta, ya sea eléctrica u ópticamente. El próximopaso consiste en lograr cavidades ópticas que tengan un espejo móvil, a fin de estudiar la interacción entre los modos mecánicos y ópticos.1. Gonzalez, M., Rozas, G., Alarcon, L. S., Simonetto, M., Bruchhausen, A., Zampieri, G., ... & Pastoriza,H. Materials Science in Semiconductor Processing, 123 (2020) 105469.2. Yablonovitch. Photonic crystals. Journal of Modern Optics, 41 (1994), 173-194.3. Yamaguchi, H. Semiconductor Science and Technology, 32 (2017), 103003.4. https://pythonhosted.org/tmm/tmm.html