Litografía óptica más allá del límite de difracción

DARÍO KUNIK; FRANCISCO. BALZAROTTI; LIA I PIETRASANTA; OSCAR E. MARTÍNEZ

San Carlos de Bariloche

Congreso; IX Encuentro CNEA Superficies y Materiales Nanoestructurados; 2009

Se presenta una técnica litográfica de polimerizaciónóptica en el rango visible con la que se construyen estructuras dealturas desde las decenas de nanometros hasta los micrones, conuna resolución lateral 2,5 veces menor a la cintura del haz querealiza el grabado. La polimerización es iniciada mediante latransferencia de energía de una molécula fluorescente que absorbeun fotón. Se mostrará que el efecto de un mecanismo no linealasociado a la percolación superficial del polímero es lo que permitesuperar el límite de difracción.