PELÍCULAS DELGADAS DE SBT PARA APLICACIONES EN MEMORIAS FERROELÉCTRICAS NO VOLÁTILES

MARCELO STACHIOTTIA; RODRIGO MACHADO; MARIA LUZ SANTIAGO; NORA PELLEGRI; AGUSTÍN FRATTINI; RAÚL BOLMARO; OSCAR DE SANCTIS

Mar del Plata, Argentina

Congreso; Congreso binacional sam-conamet; 2005

Se prepararon películas delgadas de SrBi2Ta2O9 sobre sustratos de Pt mediante la técnica de la deposición enla fase líquida utilizando acetoína y dietanolamina como agentes quelantes. Las películas se depositaron por“spin-coating” y el “annealing” se realizó en presencia de oxígeno a las temperaturas de 700 ºC y 800 ºC. Seestudiaron la morfología y el tamaño de grano de las películas por Microscopía de Fuerza Atómica, laestructura cristalina por DRX y la textura con un goniómetro de texturas. Además se estudió la evolucióntérmica mediante un Análisis Térmico Diferencial (DTA) y un Análisis Termogravimétrico (TGA) depolvos preparados por el secado de las soluciones precursoras, obteniendo las temperaturas de aparición delas fases intermedias y de perovskita.