Simulación Numérica del Flujo a Bajo Número de Reynolds en un Microresonador del Tipo Placa. Parte 1: OpenFOAM y GBEM

EZEQUIEL J. LÓPEZ; D'ELÍA JORGE; GUSTAVO A. RÍOS RODRIGUEZ; SOFÍA S. SARRAF; LAURA BATTAGLIA

San Miguel de Tucumán

Congreso; MECOM 2018, XII Congreso Argentino de Mecánica Computacional; 2018

Univ. Nac. Tucumán, FACET y AMCA.

Se presenta una modelización numérica del flujo tridimensional de un fluido viscoso newtoniano en régimen oscilatorio alrededor de un microresonador de tipo placa utilizado en sistemas micro-electromecánicos (MEMS). El microresonador consiste en una placa de polisilicio con una alta relación de aspecto, de muy bajo espesor, perforada con 75 agujeros equiespaciados. La placa está empotrada en ambos extremos y vibrando en su primer modo natural a una frecuencia de 176 KHz por encima de un sustrato fijo. Se calcula el factor de calidad del dispositivo, expresado como el cociente entre la energía total del sistema y aquella que disipa al fluido en un ciclo de oscilación, mediante FVM (Finite Volume Method) utilizando la suite OpenFOAM(R) y con Galerkin BEM (Galerkin Boundary Element Method).