Fabricación y caracterización de películas de vidrios calcogenuros con vistas a su aplicación en memorias no-volátiles

ERAZU, M.; MARIA ANDREA UREÑA; PIARRISTEGUY, A.; ROCCA, J.; FONTANA, M.; ARCONDO, B.

Merlo, San Luis

Congreso; 91º Reunión de la Asociación Física Argentina; 2006

Los vidrios calcogenuros son materiales con variadas aplicaciones, pueden ser usados en fibras ópticas, grabaciones ópticas (por ejemplo CD), memorias de cambio de fase y otras tecnologías. Los vidrios del sistema binario GeSe han sido particularmente estudiados debido a su elevada capacidad para formar estructuras amorfas, bajos requerimientos en su síntesis y buena estabilidad química. En trabajos recientes estos vidrios GeSe con el agregado de Ag han sido usados en forma de películas delgadas para la construcción de dispositivos usados como memorias no-volátiles. Siguiendo las líneas de estos trabajos, los primeros resultados obtenidos en vistas a su aplicación en memorias no-volátiles son presentados. Películas delgadas de composiciones Ge20Se80 y Ge25Se75 fueron fabricadas mediante la técnica de Ablasión Laser. Éstas fueron caracterizadas usando microscopía de fuerza atómica, microscopía electrónica y su espesor fue determinado mediante perfilometría obteniéndose valores que oscilan entre 100 y 600 nm variando los distintos parámetros de deposición. Una película delgada de Ag fue depositada sobre las películas GeSe para luego fotodifundirla en el vidrio GeSe. El exceso de Ag no difundido fue retirado empleando una solución diluida de Fe(NO3)3. La película resultante fue caracterizada.