Determinación de Espesores Superficiales Mediante TXRF y GEXRF

PÉREZ R.D.; SÁNCHEZ H.J.; RUBIO M.

Huerta Grande

Congreso; VI Seminario Latinoamericano de Análisis por Técnicas de Rayos X - SARX98; 1998

Estudios previos fundamentan el origen de un nuevo método analítico para la determinación de espesores, basado en el estudio del patrón de interferencia de la fluorescencia de rayos X. El presente método evita el ajuste de los complejos modelos teóricos propios de TXRF y GEXRF, por lo que representa una considerable simplificación en el análisis de datos. El método requiere del conocimiento de la composición de la capa superficial analizada cuyo espesor se desea medir. El rango de espesores donde se aplica el presente método se encuentra comprendido aproximadamente entre los 100 Åy los 1000 A. Fuera de este intervalo las oscilaciones del patrón de interferencia se encuentran considerablemente atenuadas o desaparecen completamente, por lo que su determinación experimental resulta sumamente dificultosa o imposible. Las características del método analítico desarrollado, el procedimiento asociado, y el rango de aplicación se describen en detalle en este trabajo.