Maquinado de precision submicrometrica con laseres solidos

F RODRIGUEZ; D KRYGIER; A TOURON; M AGUERO; L FIDALGO; O RADULOVICH; F DIODATI; A HNILO; M KOVALSKY

Congreso; 96ªReunion Nacional de Fisica -II Reunion conjunta AFA SUF; 2011

El procesado de materiales con láser es un campo en franca expansión, que captura la atención de científicos, ingenieros e industria por igual. El aspecto más interesante a nivel científico es comprender los mecanismos fundamentales de la interacción entre la radiación y la materia. A nivel tecnológico se presenta como una herramienta que no solo hace innumerable cantidad de procesos más baratos, rápidos, limpios y precisos, sino que abre la posibilidad de crear nuevos métodos simplemente imposibles de llevar a cabo por otras vías. En este trabajo se presentan los resultados obtenidos sobre obleas de silicio con un láser de Nd:YAG bombeado por diodos y Q-Switch activo con modulador acusto – óptico con energía de 8mJ por pulso, duración de 40ns a 1kHz de repetición y una estación de posicionamiento automática con software de control, todo diseñado y construido en nuestro laboratorio.