El efecto de la nitruración en el sensado de humedad de film de carbono amorfo hidrogenado

FRATTINI, GIULIANO; TORRES, SINDRY; SILVA, LEONEL I.; GOMEZ, B J; REPETTO, C E; DOBRY, ARIEL

Exposición; 106 Reunión Anual de la Asociación Fisica Argentina; 2021

Estudiamos el efecto de nitrurar films de carbono amorfo hidrogenado (a-C:H). Apuntamos a las propiedades para sensar la humedad ambiente (RH) que tienen estos films. Los mismos fueron preparados en dos etapas, combinando la técnica de deposición fı́sica en fase gaseosa (PAPVD) con la nitruración por plasma. Deconvolucionando el espectro Raman identificamos dos picos correspondientes a los modos D y G, caracterı́sticos del a-C:H. Después del tratamiento con un plasma de N2-H2 , los picos se angostan y se corren a la derecha, lo que asociamos a la incorporación de N en la estructura. Observamos que la sensibilidad a RH, medida por el cambio en la resistividad de baja frecuencia, mejora con la nitruración.Mediante espectroscopı́a de impedancias estudiamos la dependencia con la frecuencia de la conductividad en AC (σ(ω)). Antes de nitrurar el comportamiento pareciera ser universal y de la forma σ(ω) ∼ Aω s , análogo a lo observado en otros sistemas amorfos. El efecto de la humedad es cambiar la escala global A. Al nitrurar, s aumenta y se vuelve dependiente de la humedad. Asociamos este comportamiento con el cambio en el mecanismo de interacción entre el sustrato y las moléculas de agua cuando la muestra es nitrurada.