MEMS, diseño y fabricación de sensores

S. D. CALDERÓN RIVERO; V. A. YELPO; M. I. DOLZ; H. PASTORIZA

San Luis

Jornada; Poster en JAIFI - Jornada Anual de Investigación del Departamento de Física; 2011

Departamento de Física, Facultad de Ciencias Físico-Matemáticas y Naturales, UNSL

Los MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) son sistemas micro-electro mecánicos con dimensiones que varían, aproximadamente, entre un micrón y un milímetro. Algunas ventajas de los MEMS son su pequeño peso y tamaño, menor consumo de energía, una alta sensibilidad, y bajo costo. Las aplicaciones de éstos dispositivos son diversas, algunos ejemplos son: interruptores de radio frecuencia (RF Switches), acelerómetros, diversos tipos de sensores, micro-magnetómetros, etc.En nuestro caso utilizamos micro-osciladores mecánicos de silicio como dispositivos de medición, para estudiar las propiedades magnéticas de muestras de tamaños micro-nanométricos. El microoscilador funciona a modo de magnetómetro, variando su frecuencia de resonancia en el modo torsional. Esta variación se debe a un torque extra producido en el sistema, debido a la interacción entre la magnetización de la muestra microscópica adherida al micro-oscilador, y un campo magnético externo. Una mejora a los osciladores torsionales mencionados, es el diseño de un magnetómetro que permita medir la magnetización vectorialmente. Esto permite obtener el valor de la magnetización en todas las direcciones del campo aplicado y sus variaciones. Una posibilidad es utilizar magnetómetros de gradiente alterno de campo (AGM) cuyo principio de funcionamiento consiste en generar una fuerza oscilante sobre la muestra mediante la interacción de su magnetización con el gradiente de un campo magnético externo. Luego, midiendo la amplitud del movimiento se obtiene información sobre las propiedades magnéticas de la muestra. En este trabajo presentaremos el funcionamiento, diseño y fabricación de micro-osciladores torsionales y AGM.