Microlitografía óptica para la fabricación de estructuras funcionales

MANZANO V; GABRIEL M; GÓMEZ FLORENCIANO I M; D'ACCORSO NORMA BEATRIZ; CARAL M P; ALLIEVI M; ESTRADA L

Buenos Aires

Congreso; 103a Reunión de la Asociación de Física Argentina; 2018

AFA

El desarrollo de nuevos metodos para la fabricacion de dispositivos en la microescala se haconvertido en un objetivo de gran interes en muchos campos de la ciencia y la tecnologIa.Dentro de los metodos mas utilizados debido a su simpleza, extenso desarrollo previo y velocidadde produccon, esta la litografia por iluminacion laser o litografia optica. En la ultimadecada, el procesamiento de materiales a partir de la iluminacion laser ha demostrado ser uno de los metodos mas activos en el mundo y ha sido utilizado con muy variadas aplicacionesque van desde el diseno de celdas de microudica o la confeccion de mascaras parala industria semiconductora, hasta la fabricacion de sustratos biocompatibles con aplicacionesmedicas. En este trabajo, describimos un sencillo protocolo de microfabricacion basadoen la litografa optica sobre resinas comerciales que pueden ser modicadas para otorgarfuncionalidades especcas. Este protocolo presenta notables ventajas frente a otros metodosde fabricacion: mientras que habitualmente las microestructuras se fabrican utilizandomascaras que restringen el curado de la resina a un determinado dise~no, en la tecnica demicrofabricacion propuesta utilizamos un laser enfocado, reduciendo signicativamente loscostos y tiempos de fabricacion, facilitando la produccion a gran escala. El proceso utilizado,ademas, puede implementarse en cualquier laboratorio de investigacion, docencia, industrias,o empresas que tengan acceso a un microscopio laser de barrido, permitiendo la fabricacionde microdispositivos con resolucion espacial de medio micron, en pocos minutos, y sin lanecesidad del uso de salas con niveles de limpieza especiales.