INTEMA 05428
INSTITUTO DE INVESTIGACIONES EN CIENCIA Y TECNOLOGIA DE MATERIALES
Unidad Ejecutora - UE
artículos
Título:
Métodos de medición de espesores de películas delgadas basadas en óxidos semiconductores
Autor/es:
L.RAMAJO; L.RAMAJO; E. VILLEGAS ; R. PARRA; E. VILLEGAS ; R. PARRA
Revista:
REVISTA MEXICANA DE FÃSICA
Editorial:
SOC MEXICANA FISICA
Referencias:
Lugar: México; Año: 2018 vol. 64 p. 364 - 367
ISSN:
0035-001X
Resumen:
Las pel´ıculas transparentes basadas en ´oxidos de Ti, Sn y Zn tienen gran importancia en dispositivos electr ´onicos tales como sensores, celdassolares y pel´ıculas conductoras haciendo que las t´ecnicas de caracterizaci´on sean altamente relevantes. Este trabajo tiene como objetivoidentificar las ventajas y desventajas de los m´etodos directos, tales como perfilometr´ıa e indirectos, elipsometr´ıa y espectrofotometr´ıa, paracuantificar espesores de pel´ıculas delgadas de ´oxidos de Ti, Sn y Zn. Las pel´ıculas se depositaron por spray-pyrolysis sobre sustratos devidrio a 425±C. En todos los casos, los espesores obtenidos variaron entre 150 y 300 nm, con una diferencia inferior al 10% y 20% entre last´ecnicas espectrofotometr´ıa y elipsometr´ıa, respectivamente, con respecto al valor obtenido mediante perfilometr´ıa.
