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El óxido de Circonio (ZrO2) dopado con óxidos de menor valencia genera vacancias de Oxígeno en la estructura que lo convierten en un excelente conductor iónico, ampliamente utilizado en celdas de combustible. Impulsados por aspectos de ahorro energético y ecológico los procesos de fabricación tienden a miniaturizar los dispositivos. Esto ha llevado a remplazar los componentes de los mismos por componentes integrados basados en las tecnologías layer on layer. El objetivo del trabajo ha sido la síntesis y caracterización estructural y eléctrica de películas delgadas de x% mol Y2O3-ZrO2 con x en la proximidad de 8, valor en el cual los cerámicos de ZrO2 dopados con óxidos de cationes trivalentes tienen las mejores propiedades de conducción iónica. Las películas se prepararon mediante la técnica de spinning sobre substratos de alúmina y Pt/TiO2/SiO2/Si. El estudio de la evolución térmica de la estructura cristalina se realizó ex-situ sobre muestras tratadas a temperaturas entre 500ºC y 1200 ºC mediante la técnica GI-XRD. La evolución térmica del material se estudió por análisis térmico diferencial (DTA) de los polvos equivalentes. La morfología y el tamaño de grano se estudiaron mediante microscopia de fuerza atómica (AFM). Estructura cristalina cúbica se observó en las películas en todo el rango de temperaturas analizado (500ºC 1200ºC). A 800 ºC las técnicas de caracterización utilizadas (AFM, GI-XRD y DTA), muestran una buena cristalización. En películas depositadas sobre Pt/TiO2/SiO2/Si tratadas a 800 ºC se depositaron electrodos de Pt por sputtering. La muerte súbita de los capacitores (capacitores en corto) fue inferior al 10%. Mediante un analizador de impedancia se realizaron medidas de constante dieléctrica y pérdida dieléctrica entre 10 Hz y 1 MHz en un rango de temperatura entre temperatura ambiente y 350 ºC.