IFIR   05409
INSTITUTO DE FISICA DE ROSARIO
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Caracterización por espectroscopía de impedancia de films delgados de carbono amorfo hidrogenado por PVD con la variación de la humedad y temperatura
Autor/es:
A. DOBRY; J. EPELOA; C.E. REPETTO; B.J. GÓMEZ
Lugar:
La Plata
Reunión:
Congreso; 102º Reunión de la Asociación Física Argentina; 2017
Institución organizadora:
Asociación Física Argentina
Resumen:
Mediante la técnica de "Physical Vapor Deposition" (PVD) se hicieron crecer films de carbono. A partir de espectroscopía Raman se determinó que la composición de los films se correspondía con carbono amorfo hidrogenado. Estos films se depositaron sobre diferentes sustratos: conductores, semi-conductores y aislantes. Mediante una máscara adecuada se generaron los electrodos para su posterior excitación eléctrica. Se estudió tanto la respuesta del material en función de la humedad y temperatura, como también su respuesta en frecuencia. Se propuso un modelo de circuito equivalente y se ajustaron los datos experimentales obtenidos de esas mediciones realizadas, con el objetivo de encontrar los valores de los parámetros concentrados del circuito propuesto.