Películas delgadas de óxido de hafnio dopadas con Y2O3 y CaO: nucleación y crecimiento y evolución térmica de las fases

SEBASTIÁN BAROLÍN; MARÍA LAURA GIANNONE; MARÍA VIRGINIA ROLDÁN; OSCAR A. DESANCTIS

Huerta Grande, Córdoba, Argentina

Congreso; Segunda Reunión Nacional SÓLIDOS 2007; 2007

Universidad Nacional de Córdoba

Películas delgadas de (Y203)x -Hf(1-2x)02-x  y (CaO)y-Hf(1-y) 02-y (x : 0,025,0,1 y 0,12; Y : 0,06,0,14 y 0,2) se depositaron sobre sustratos de ia-A1203 mediante la técnica de dip-coating a partir de soluciones alcohólicas de organometálicos utilizando 3-hidroxi-2-butanona (Acetoín) como agente quelante. El quemado de los residuos orgánicos se realizó a 500 ºC bajo atmósfera normal. Las películas fueron tratadas térmicamente a intervalos de temperatura creciente hasta una temperatura máxima de 1250 ºC. La evolución térmica de la estructura cristalina se monitoreó por ex-situ DRX en configuración theta-2theta con haz rasante y mediante análisis térmico DTG de polvos equivalentes. La morfología y el tamaño de grano de las películas se estudiaron mediante Microscopia de Fuerza Atómica (AFM) a temperatura ambiente. La nucleación heterogénea sería la preferencial en las películas dopadas con CaO. Concentraciones crecientes de ambos dopantes incrementan la temperatura de estabilidad de la fase metaestable cúbica/tetragonal, sin embargo para 1250 ºC, sólo la película (Y203)x -Hf(1-2x)02-x  no exhibe la presencia de fase monoclínica.