Nanopartículas ferroeléctricas de BaTiO3 inmovilizadas sobre sustratos para la obtención de nanocapacitores: análisis de distintos métodos de deposición.

NADIA MAMANA; NORA PELLEGRI

Santa Fe

Congreso; XIV SAM/ CONAMET/IBEROMAT/MATERIA 2014; 2014

IFIS-CONICET-UNL

La utilización de materiales ferroeléctricos en el desarrollo de dispositivos piezoeléctricos, memorias no volátiles y sensores, es un campo científico-tecnológico en permanente evolución. Adicionalmente, en la actualidad existe una tendencia hacia la miniaturización de estos dispositivos electrónicos. En particular, el interés en las nanopartículas de BaTiO3 está relacionado con las propiedades dieléctricas de este material en bajas dimensiones. En el presente trabajo se utiliza la combinación de dos técnicas para la fabricación de nanopartículas dieléctricas de BaTiO3 que finalmente podrían ser utilizadas como nanocapacitores en dispositivos electrónicos. Para la síntesis de dichas nanopartículas, por un lado, se utiliza el método sol-gel con el objetivo de controlar la estequiometría y pureza del material obtenido. Por otro lado, con la finalidad de controlar el tamaño y la distribución de tamaño de las partículas, se realiza la síntesis en el interior de sistemas micelares inversos. Mediante la combinación de estas rutas se logró el depósito de partículas de tamaño nanométrico sobre distintos sustratos (Si, Pt/TiO2/SiO2/Si). La influencia de los distintos modos de depósito sobre el tamaño de partículas, grado de aglomeración, fue analizada. También fue determinado el tamaño micelar en las distintas etapas de la síntesis. Finalmente, se utilizó la técnica microscopía de fuerza atómica en diferentes modos para corroborar la deposición de las partículas de BaTiO3 (no conductoras) sobre un sustrato conductor como lo es el wafer de platino (Pt/TiO2/SiO2/Si).