INTEC   05402
INSTITUTO DE DESARROLLO TECNOLOGICO PARA LA INDUSTRIA QUIMICA
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Características ópticas y eléctricas de películas delgadas de silicio microcristalino
Autor/es:
A. DUSSSAN CUENCA; J.A. SCHMIDT; R. R. KOROPECKI; R.D. ARCE
Lugar:
Tunja, Colombia
Reunión:
Jornada; VII ENFMC; 2006
Institución organizadora:
Sociedad Colombiana de Física
Resumen:
En este trabajo fueron fabricadas películas delgadas de silicio microcristalino a través del método
de deposición química en fase de vapor asistida por plasma, usando una mezcla de 94% de hidrógeno
y 6% de silano (SiH4), adicionando diborano (B2H6) como gas dopante. La concentración de
Boro fue variada entre 0 y 100 ppm. Los efectos de la concentración de Boro sobre las propiedades
ópticas fueron investigados a través de medidas de transmitancia espectral y el método de la fotocorriente
constante (CPM). Las constantes ópticas, el espesor de la película y el gap del material
fueron obtenidos a través de éstas medidas. Las medidas de CPM mostraron que un incremento en
el nivel de doping causa un aumento sistemático en los espectros del coeficiente de absorción para
la región de baja energía. Información sobre las propiedades eléctricas fue obtenida a través de
medidas de fotoconductividad y conductividad a oscuras. Las medidas de conductividad a oscuras
revelaron que la energía de activación aumenta para concentraciones mayores a 25 ppm y decrece
para concentraciones más altas de Boro.4), adicionando diborano (B2H6) como gas dopante. La concentración de
Boro fue variada entre 0 y 100 ppm. Los efectos de la concentración de Boro sobre las propiedades
ópticas fueron investigados a través de medidas de transmitancia espectral y el método de la fotocorriente
constante (CPM). Las constantes ópticas, el espesor de la película y el gap del material
fueron obtenidos a través de éstas medidas. Las medidas de CPM mostraron que un incremento en
el nivel de doping causa un aumento sistemático en los espectros del coeficiente de absorción para
la región de baja energía. Información sobre las propiedades eléctricas fue obtenida a través de
medidas de fotoconductividad y conductividad a oscuras. Las medidas de conductividad a oscuras
revelaron que la energía de activación aumenta para concentraciones mayores a 25 ppm y decrece
para concentraciones más altas de Boro.