Micromaquinado con haces de iones de alta energía

M. DEBRAY; M. FISHER; A. KREINER; A. LAMAGNA; J. DAVIDSON; M. DAVIDSON; D. MINSKY; A. BURLON; P. PERILLO

Bahía Blanca, Argentina

Congreso; 89 Reunión Nacional de Física - Asociación Física Argentina; 2004

Asociación Física Argentina, Filial Bahía Blanca

La evolucion de la tecnologa MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) esta creando nuevas demandas en el analisis y micromaquinado de materiales avanzados. Esta contribucion describe la aplicacion de la tecnica DIBL (Deep Ion Beam Lithography) utilizando el microhaz de iones pesados del acelerador Tandar. La tecnica es un proceso de escritura directa en la cual haces de iones de varios MeV de energía y muy focalizados son barridos sobre la super cie de un material resistivo siguiendo un esquema predeterminado. Se describen las primeras pruebas realizadas para generar estructuras 3-dimensionales sobre PMMA y se analiza el uso potencial del microhaz de iones pesados como herramienta para producir estas microestructuras en diferentes materiales resistivos (PMMA, SU8, vidrio, pirex) los cuales pueden ser integrados a sistemas MEMS. Se discute sobre las dimensiones de las microestructuras, profundidades de penetracióon y límites de resolucion alcanzables.