INVESTIGADORES
QUINTEROS Cynthia Paula
congresos y reuniones científicas
Título:
Types of rupture on MOS high-K capacitor structures under oxygen and proton irradiation
Autor/es:
C. QUINTEROS; F. PALUMBO
Lugar:
Buenos Aires
Reunión:
Conferencia; Conferencia Argentina de Microelectrónica, Tecnología y Aplicaciones; 2011
Institución organizadora:
Departamento de Electrónica de la Facultad de Ingeniería de la UNiversidad de Buenos Aires
Resumen:
We present the types of rupture (soft- and hard-) showed in alumina and nanolaminate- based capacitors under two types of radiation. We also analyze modifications produced in each case.