Microfabricación de dispositivos opto-mecánicos mediante fotolitografía de polímeros

K. OGANDO; J. J. ZÁRATE; H. PASTORIZA

Malargüe

Congreso; Reunión Anual de la Asociación de Física Argentina; 2010

Asociación de Física Argentina

En este trabajo presentamos parte de los resultados obtenidos en el marco del proyecto de desarrollo de un arreglo de microbolómetros para la detección de radiación infrarroja lejana. Los sensores están basados en una tecnología innovadora fundamentada en la expansión térmica y el debilitamiento estructural localizado. Para mejorar la sensibilidad de los dispositivos, proponemos el uso de polímeros como material estructural. Este poster está centrado en el desarrollo del proceso de fabricación de los dispositivos, basado en la fotolitografía de polímeros, para alcanzar los requerimientos establecidos en la etapa de diseño