INVESTIGADORES
URTEAGA raul
congresos y reuniones científicas
Título:
Diseño de Microdispositivos de Silicio Poroso con Respuestas Acústicas y Ópticas Específicas
Autor/es:
LUISINA FORZANI; CARLOS G. MENDEZ; URTEAGA, RAÚL; ALFREDO E. HUESPE
Lugar:
Santa Fe
Reunión:
Congreso; Congreso Nacional de Mecánica Computacional; 2019
Institución organizadora:
Asociación Argentina de Mecánica Computacional
Resumen:
El silicio poroso (SP) se ha utilizado con éxito en generadores ultrasónicos aplicando una corriente alterna en una película delgada metálica depositada sobre el SP. De esta manera se genera un aumento de temperatura que produce una significativa señal acústica en un amplio espectro de frecuencias. En la literatura se reporta el uso de capas uniformes de SP como sustrato debido exclusivamente a su baja efusividad térmica, pero no existen estudios enfocados en las características de la capa de SP y su influencia sobre las propiedades de los dispositivos resultantes. En este trabajo se propone controlar la respuesta ópto-acústica del SP modulando la morfología de la estructura porosa formando una multicapa que presente una respuesta específica tanto óptica como acústica. Se presenta el estudio teórico del uso de una microestructura de SP para el desarrollo de sistemas generadores de ultrasonido mediante la obtención de la repuesta fonónica de estructuras con perfiles de porosidad arbitrarios que permiten construir de forma óptima microcavidades acústicas resonantes con máximo factor de calidad. El diseño se realiza de manera tal que la respuesta mecánica de la misma produzca un acoplamiento con la respuesta óptica del sistema.