Diseño y optimización de un sensor opto-acústico a partir de una multicapa de silicio poroso

LUISINA FORZANI; CARLOS G. MENDEZ; RAÚL URTEAGA; ALFREDO E. HUESPE

Resistencia, Chaco

Congreso; XXXVII Congreso Argentino de Mecánica Computacional; 2021

En este trabajo se presenta el estudio teórico del diseño de un microdispositivo con respuesta acústica específica a 60 MHz y óptica en el rango del infrarojo. Experimentalmente es posible generar ondas acústicas en esta frecuencia sin la necesidad de equipos de alta complejidad. Se propone controlar la respuesta opto-acústica de una estructura de silicio poroso a través del modelado de su morfología fabricando una multicapa que vaya alternando porosidades. El diseño está orientado para obtener un fuerte acople entre la respuesta óptica y la acústica mediante la incorporación de una microcavidad óptica dentro de la cavidad acústica ya través de la optimización de los parámetros estructurales. Por medio de este acople es posible detectar la señal acústica a través de métodos ópticos, evitando el uso de micrófonos costosos. La resonancia debido a la onda acústica produce una deformación mecánica