Marcado de poros en silicio cristalino a través de películas delgadas de alúmina nanoporosa

F. GARCÉS; R. R. KOROPECKI; R. D. ARCE

Rosario, Santa Fe

Conferencia; 94º Reunión Nacional de Física AFA; 2009

Asociación Física Argentina (AFA)

Membranas porosas de al´umina se han utilizado en los ´ultimos a˜nos para la obtenci´on de estructuras ordenadas, como puntos magn´eticos, nanoalambres y microfiltros, Adem´as el ordenamiento de poros en materiales semiconductores es utilizado en la obtenci´on de dispositivos fot´onicos altamente eficientes [Appl. Phys. Lett., 76(2000)1]. En un trabajo previo se optimizaron los par´ametros de anodizado para la obtenci´on de estructuras porosas ordenadas de al´umina. utilizando como material de partida l´aminas de Aluminio con electropulido previo. Los par´ametros determinados bajo estas condiciones se utilizaron para la anodizaci ´on del aluminio depositado sobre una oblea pulida de silicio monocristalino. El dep´osito se obtuvo evaporando una peque˜na pel´ıcula de aluminio a temperaturas pr´oximas a la del eut´ectico Al-Si. La evaporaci´on se complet´o a temperatura ambiente. Este procedimiento mejora substancialmente la adherencia de las pel´ıculas de aluminio al substrato de silicio, y por otro lado permite mantener una superficie plana, evitando la necesidad del electropulido. La pel´ıcula de aluminio fue anodizada con un electr´olito ´acido (´acido ox´alico) y los par´ametros de voltaje, temperatura y tiempo ideales para la obtenci´on de estructuras porosas ordenadas. Con el fin de transferir estos poros del orden de 60-70 nm de di´ametro sobre los sustratos de silicio tipo p, se realizo un anodizado del silicio a trav´es de la plantilla de al´umina con una soluci´on de HF. Se logr´o as´ı una estructura porosa sobre el silicio que posteriormente se caracteriz´o por medio de microscopia SEM. A partir del an´alisis de estas im´agenes se obtuvieron datos de la homogeneidad superficial, tama˜nos de poro y distancias entre poros.