INVESTIGADORES
VIDAL ricardo Alberto
congresos y reuniones científicas
Título:
Degradación de la interface Metal-Semiconductor en la litografía por bombardeo electrónico. AlF3 / GaAs,
Autor/es:
L.I. VERGARA; R.A. VIDAL; J. FERRÓN
Lugar:
Huerta Grande, Cordoba
Reunión:
Congreso; 87a Reunión Nacional de Física; 2002
Institución organizadora:
Asociación Física Argentina
Resumen:
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