INVESTIGADORES
PASSEGGI Mario Cesar Guillermo
congresos y reuniones científicas
Título:
Estudio de la cinética de oxidación de GaAs(100) a presión atmosférica mediante espectroscopia de electrones Auger
Autor/es:
PASSEGGI (H), M.C.G.; KOROPECKI, R.R.; FERRÓN, J.; MOLINAS, B.; GUADALUPI, G.M.
Lugar:
San Luis (San Luis), 21-26 Septiembre
Reunión:
Otro; AFA´97, 82a. Reunión de la Asociación Física Argentina; 1997
Institución organizadora:
Asociación Física Argentina
Resumen:
En este trabajo se estudia a través de espectroscopia de electrones Auger (EEA) y de perfiles de concentraciones en profundidad por bombardeo con iones de Ar+, la evolución de una muestra de GaAs(100) tipo "Epi-ready" a presión atmosférica. Además, con propósitos comparativos se estudia la evolución de muestras de GaAs(100) preparadas bajo dos procesos conocidos de pre-tratamiento químico. Los resultados muestran que la señal de oxígeno para la superficie "Epi-ready" evoluciona durante un tiempo de 5 meses. El incremento en la intensidad de la señal de oxígeno va acompañado por un corrimiento de un frente de oxidación a medida que se incrementa la exposición. Este comportamiento puede observarse mediante indicadores obtenidos a partir del estudio de la forma de línea de los espectros Auger de baja energía de GaAs. Por otro lado, la muestra "Epi-ready" presenta una capa de óxido superficial previo a la exposición al aire, y las muestras pre-tratadas muestran en la superficie una señal intensa de As.