INVESTIGADORES
PASSEGGI mario Cesar Guillermo
congresos y reuniones científicas
Título:
Poster: Proceso de oxidación de arseniuro de galio
Autor/es:
PASSEGGI (H), M.C.G.; VAQUILA, I.; KOROPECKI, R.R.; MOLINAS, B.; VIDAL, R.A.; FERRÓN, J.
Lugar:
Rosario, Argentina, 14-18 Septiembre
Reunión:
Jornada; Jornadas SAM1998, IBEROMET V; 1998
Institución organizadora:
Sociedad Argentina de Metales
Resumen:
Mediante el uso de la espectroscopia de electrones Auger (EEA) y el análisis de factores (AF) estudiamos el proceso de oxidación de GaAs. Analizamos las primeras etapas de oxidación a baja presión, estudiando el efecto de la temperatura y de la presencia de pseudocatalizadores. Finalmente, estudiamos el proceso de oxidación en condiciones naturales: presión atmosférica y temperatura ambiente en superficies especiales, tipo "Epi-ready". Expuso: KOROPECKI, R.R.