INVESTIGADORES
SCHMIDT javier Alejandro
artículos
Título:
Fracción de Volumen Cristalina en Muestras de µc-Si Dopadas con Boro Obtenida Mediante Espectroscopia Raman
Autor/es:
A. DUSSAN CUENCA; J. A. SCHMIDT
Revista:
REVISTA COLOMBIANA DE FÍSICA
Editorial:
Sociedad Colombiana de Física
Referencias:
Lugar: Santiago de Cali; Año: 2009 vol. 41 p. 82 - 84
ISSN:
0120-2650
Resumen:
En este trabajo, se depositaron muestras de silicio microcristalino dopadas con Boro (mc-Si:H:B) a partir del método de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD), usando silano (SiH4) diluido en hidrógeno, y diborano (B2H6) como gas dopante. La concentración de diborano se varió en el rango entre 0 y 100 ppm. Se realizó un estudio de las propiedades estructurales a partir de la técnica de espectroscopia Raman. Los espectros Raman revelaron un aumento en la fracción de volumen cristalina (XC) de las muestras a medida que la concentración de Boro aumentaba desde 0 a 75 ppm. Por encima de 75 ppm se encontró que la XC decrece nuevamente indicando una amorfización en el material.