INTECIN   20395
INSTITUTO DE TECNOLOGIAS Y CIENCIAS DE LA INGENIERIA "HILARIO FERNANDEZ LONG"
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Particulado en películas delgadas sintetizadas por PLD: estudio de la presión de compactación de blancos
Autor/es:
ERIC STUTZ; JOSEFINA M SILVEYRA; JULIÁN CASTRO; JUAN M CONDE GARRIDO
Lugar:
Santa Fe
Reunión:
Congreso; 104ª Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2019
Institución organizadora:
AFA
Resumen:
La deposición depelículas delgadas por ablación láser (PLD, pulsed laser deposition) es unatécnica que ofrece una gran versatilidad experimental. La evaporacióncongruente de las especies permite la fabricación de películas homogéneas deáreas pequeñas (i.e. las películas obtenidas tienen la misma estequiometría queel blanco). Las propiedades físicas de las películas (ópticas, eléctricas,microestructura, morfología, adhesión, etc.) resultan, en muchos casos,superiores a las obtenidas por otras técnicas tales como evaporación estándar oevaporación con haz de electrones.Sin embargo, laablación suele producir, como subproducto indeseable, particuladosmicrométricos en el sustrato, quedando embebidos dentro de las películas ysobre su superficie. En trabajos previos, hemos demostrado que son varios los factoresque influyen en el particulado presente en las películas sintetizadas por PLD,tales como la aleación del blanco, la distancia blanco sustrato y la técnicaempleada para ablacionar (i.e. con incidencia unidireccional o bidireccional).Conel fin de controlar el particulado de las películas y mejorar su calidad paramúltiples aplicaciones, en este trabajo, estudiamos la dependencia delparticulado con la presión utilizada para sintetizar los blancos a ser ablacionados.Para ello, fabricamos blancos compactados a distintas presiones -0,32, 1,6 y3,2 toneladas/cm^2- de las siguientes composiciones: GeSe3 y Ag25(GeSe3)75. Dichasaleaciones fueron previamente preparadas a partir de elementos puros,amorfizadas por la técnica de melt-quenching, y pulverizadas mecánicamente.Caracterizamos las películas depositas mediante microscopía electrónica debarrido (SEM), estudiando su topografía, espesor y la presencia de particulado.Utilizamos la técnica de análisis de imágenes para caracterizar las distribucionesde tamaño del particulado de las películas.