INTECIN 20395
INSTITUTO DE TECNOLOGIAS Y CIENCIAS DE LA INGENIERIA "HILARIO FERNANDEZ LONG"
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Estudio y origen del particulado en pelÍculas delgadas de AgGeSe depositadas por PLD
Autor/es:
J. M. CONDE GARRIDO; J. BOBADILLA; J. M. SILVEYRA; A. MASURSKI
Lugar:
La Plata
Reunión:
Congreso; 102ª Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2017
Resumen:
La deposicion por ablacion laser (PLD por sus siglas en ingles, pulsed laser deposition) es una tecnica defabricacion de pelculas delgadas que, debido a su simpleza, ofrece una gran versatilidad experimental. Estopermite la transferencia estequiometrica de masa desde el blanco hasta el sustrato y las propiedades fsicas de laspelculas son, en muchos casos, superiores a las obtenidas por otras tecnicas.El lmite principal en la aplicacion de PLD en la micro/nanofabricacion de dispositivos es la presencia departiculado en la supercie (y a veces dentro) de las pelculas.En este trabajo, depositamos pelculas delgadas del Sistema AgGeSe en sustratos de silicio. Evaluamos variosparametros de deposicion (tiempo de desposicion, uencia y distancia blanco-sustrato) y estudiamos las pelculasmediante SEM. Presentamos la dependencia del numero de partculas y sus tama~nos con los parametros dedeposicion.Al examinar los blancos luego de la ablacion por SEM, encontramos que las partculas de mayor tama~no sonfruto del desprendimiento de las puntas de conos que se forman en supercie de los blancos durante el procesode ablacion.
