INTECIN   20395
INSTITUTO DE TECNOLOGIAS Y CIENCIAS DE LA INGENIERIA "HILARIO FERNANDEZ LONG"
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Estudio de parámetros en la síntesis de películas delgadas del sistema AgGeSe por PLD
Autor/es:
BOBADILLA J; SILVEYRA JM; CONDE GARRIDO JM
Reunión:
Congreso; 101ª Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2016
Resumen:
La deposici´on por ablaci´on l´aser (PLD, pulsed laser deposition) es una t´ecnica que ofrece una gran versatilidad experimental. El proceso ocurre dentro de una c´amara de ablaci´on (con atm´osfera controlada) y consiste en focalizar un haz l´aser pulsado sobre un blanco, produciendo un plasma denso compuesto por ´atomos, mol´eculas, iones y electrones de alta energ´ıa que se dirigen hacia el sustrato y se depositan formando una pel´ıcula delgada (de espesor menor a 1 ?m). La evaporaci´on congruente de las especies permite la fabricaci´on de pel´ıculas homog´eneas de ´areas peque?nas (las pel´ıculas obtenidas tienen la misma estequiometr´ıa que el blanco). Las propiedades f´ısicas (´opticas, el´ectricas, microestructura, morfolog´ıa, adhesi´on, etc.) de las pel´ıculas resultan, en muchos casos, superiores a las obtenidas por otras t´ecnicas como evaporaci´on est´andar o evaporaci´on con haz de electrones. Sin embargo, la mayor limitaci´on a la utilizaci´on de esta t´ecnica es la generaci´on de particulados microm´etricos sobre el sustrato y la superficie de las pel´ıculas. En este trabajo se variaron los par´ametros de deposici´on por PLD de pel´ıculas amorfas del sistema AgGeSe y se caracterizaron mediante SEM los particulados de las pel´ıculas depositadas. Los par´ametros estudiados fueron: tiempo de deposici´on, fluencia sobre el blanco y distanca blanco-sustrato. Este estudio servir´a de base para las posteriores investigaciones realizadas con estos materiales en el Laboratorio.