INTECIN   20395
INSTITUTO DE TECNOLOGIAS Y CIENCIAS DE LA INGENIERIA "HILARIO FERNANDEZ LONG"
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Estudio del particulado en películas delgadas en función del tiempo de deposición
Autor/es:
J. M. CONDE GARRIDO; J. M. SILVEYRA; J. BOBADILLA
Reunión:
Encuentro; XVI Encuentro de Superficies y Materiales Nanoestructurados Nano 2016; 2016
Resumen:
La deposición de películas delgadas por ablación láser (PLD, pulsed laser deposition) es una técnica que ofrece una gran versatilidad experimental. La evaporación congruente de las especies permite la fabricación de películas homogéneas de áreas pequeñas (i.e. las películas obtenidas tienen la misma estequiometría que el blanco). Las propiedades físicas de las películas (ópticas, eléctricas, microestructura, morfología, adhesión, etc.) resultan, en muchos casos, superiores a las obtenidas por otras técnicas tales como evaporación estándar o evaporación con haz de electrones.Sin embargo, existen dos características que limitan la utilización de esta técnica: i) la generación de particulados micrométricos sobre el sustrato y la superficie de las películas, y ii) la distribución angular angosta de la pluma, que limita el área de depósito uniforme.En este trabajo, se depositaron películas delgadas por PLD a distintos tiempos de deposición. Las composiciones elegidas fueron: GeSe3 y Ag25(GeSe3)75. Las películas fueron caracterizadas mediante microscopía electrónica de barrido (SEM). Se estudió su topografía, espesor y presencia de particulado. Se caracterizó el particulado en función de la distribución de tamaños y posición dentro de la película.Los resultados de este trabajo serán de suma importancia para aumentar la calidad de películas depositadas en el futuro.