IFLP 13074
INSTITUTO DE FISICA LA PLATA
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Películas delgadas de óxido de titanio depositadas por pulverización catódica sobre diferentes sustratos y presiones de oxígeno
Autor/es:
M.MEYER; L.C. DAMONTE; M.G.VALLUZZI
Reunión:
Encuentro; XIX Encuentro de superficies y materiales nanoestructurados; 2019
Resumen:
El dióxido de titanio (TiO2) ha sido ampliamente estudiado por sus aplicaciones ópticas, electrónicas y de eficiencia energética tales como celdas solares, fotocatálisis, fotodiodos UV, sensores de gas, recubrimientos antireflectantes entre otros. El TiO2 es un semiconductor de banda ancha, material de bajo costo, no tóxico con buenas propiedades ópticas tales como alta constante dieléctrica e índice de refracción. Entre los numerosos métodos de preparación de películas delgadas, la pulverización catódica reactiva (sputtering) es atractiva para la industria por su adaptabilidad, alta calidad del área de cobertura, relativo bajo costo y por el control en la estequiometria de los depósitos obtenidos.Sin embargo, las propiedades físicas de las películas de TiO2 dependen críticamente del método de deposición y los parámetros involucrados tales como temperatura, presión, sustratos, etc.En este trabajo estudiamos películas delgadas de TiO2 preparadas por pulverización catódica reactiva (sputtering) depositadas sobre diferentes sustratos (vidrio, policarbonato, PET) y bajo diferentes presiones parciales de O2 con el objetivo de estudiar el efecto sobre la estructura, morfología superficial y propiedades ópticas de las películas. Las propiedades ópticas se analizaron por transmisión óptica en un espectrofotómetro UV-vis, pudiendo determinar el gap óptico y su variación con los distintos parámetros intervinientes en la preparación de las películas. Las propiedades superficiales se analizaron mediante un microscopio de fuerza atómica, analizando la rugosidad y topografía de las películas. Se intenta realizar una correlación entre las propiedades estructurales y el índice de refracción de los distintos sistemas. Estos resultados aportarán información importante para las futuras aplicaciones de los depósitos obtenidos.
