Fabricación de estructuras basadas en silicio nanoporoso para aplicaciones en micro- y opto-fluídica

LUISA CENCHA; RAÚL MARTIN-PALMA; RAUL URTEAGA

San Miguel de Tucumán, Tucumán

Congreso; 101 Reunión Anual de la Asociación Física Argentina; 2016

En este trabajo se fabricaron muestras de silicio (SP) mediante anodizado electroquímico sobre las que se delimitaron microcanales rectangulares con un láserinfrarrojo de Nd:Vanadato pulsado. La zona de interés es el SP que queda entre dos líneas marcadas por el láser. Para lograr confinar un fluido a moverse dentro deesta matriz porosa fue necesario cubrir la superficie sin rellenar los poros, con este fin se depositó una capa de óxido de indio estaño (ITO) transparente (lo quepermite la observación de un frente de avance líquido) sobre los microcanales. Otra alternativa de fabricación ensayada consistió en autosostener las capas de SPsobre un sustrato de vidrio transparente, luego se delimitaron los microcanales y finalmente se depositó una capa de aluminio como sello dejando una zona de SPlibre que permita el ingreso de un fluido a la matriz porosa