Fabricacion y caracterizacion de películas delgadas para la construcción de divisores de haces

CINTHYA TORO; PIERPAULI KARINA; MERCADO DANIEL; LELL JULIÁN; LAMAGNA ALBERTO; C. A. RINALDI

Carlos Paz, Córdoba

Congreso; 97◦ Reunion Nacional de la Asociacion de Física Argentina; 2012

Asociacion de Física Argentina

En los procesos de micro-fabricación es de interés la correcta determinacion de los espesores de películas delgadas semitransparentes, como por ejemplo resinas, películas metálicas, etc. En este marco se propone la utilización de un sistema que incluye: espectrómetro (LIBS 2500 Plus), fuentes de iluminación de distintas longitudes de onda (leds de 634 nm, 511 nm y 472 nm) y un goni ́metro. El depósito de las películas se llevó a cabo mediante Sputtering (AJA ATC Orion 5) utilizando como sustrato obleas de vidrio (Pyrex) de 500 micrones de grosor. El espesor de las películas fabricadas es controlable mediante el tiempo del proceso. En este trabajo se mostraran los resultados de pelıculas de Titanio. Para evaluar la respuesta del sistema al espesor de la pelıcula se midieron 4 tiempos de deposici ́n distintos (2, 4, 6 y 8 minutos). Se mantuvo constante intensidad lumínica para el sustrato sin pelıcula. Del análisis de los datos se pudo determinar que la transmitancia varía en forma logarítmica con el tiempo de depósito. Este tipo de variaciones hace que la técnica sea adecuada para medir películas delgadas, mientras la película sea transparente para la longitud de onda preponderante de la fuente de iluminación Finalmente, se encontró que las muestras así fabricadas, con espesores de titanio de menos de 20 nm, pueden ser utilizadas como divisores de haz para sistemas de monitoreo de micro-mecanizado por ablación láser in-situ.