CIMEC 24726
CENTRO DE INVESTIGACION DE METODOS COMPUTACIONALES
Unidad Ejecutora - UE
informe técnico
Título:
Informe Técnico - Fotolitografía por Proyección utilizando un Microscopio Epifluorescente
Autor/es:
BRAGGIO LUCIANO
Fecha inicio/fin:
2014-05-01/2014-10-04
Naturaleza de la
Producción Tecnológica:
Tecnología - Procesos de Microfabricación
Campo de Aplicación:
No corresponde
Descripción:
Objetivo:
- Adaptar un microscopio epifluorescente perteneciente al laboratorio LabBioMEMS de la FI-UNER (Oro Verde) para su uso en el Proceso de Fotolitografía por Proyección.
- Implementar un Protocolo de Uso del mismo.
