ESTUDIO ESTRUCTURAL Y MORFOLOGICO DE UN SISTEMA MULTICAPA DE PELICULAS DELGADAS, USANDO LAS TECNICAS DE SEM-EDS, XRD y XPS

N.E. WALSÖE DE RECA; M.P. POIASINA; F.S. GARD; M.F. BIANCHETTI

CABA

Jornada; 2das Jornadas UNIDEF; 2020

UNIDEF-CONICET-MINDEF

El SnO2 puro o dopado, es un óxido metálico, semiconductor, que ha sido empleado, durante mucho tiempo, para construir sensores de gases resistivos. Hace varios años que en el grupo de trabajo de la división de ?Materiales Nanoestructurados para Sensores de Gases? del DEINSO-UNIDEF-CITEDEF, se trabaja en el estudio y construcción de sensores altamente sensibles, usando películas delgadas de SnO2 nanocristalino, puro o dopado. El trabajo se fundamenta en que se comprobó que la temperatura de operación (To) de los sensores descendia de (350-450)ºC a (180-200)ºC si se utilizan materiales nanocristalinos, a su vez, la sensibilidad se ha encontrado mayor (30 ? 37) % con respecto a la sensibilidad alcanzada en los dispositivos construidos con el mismo material pero  microcristalino