Caracterización de un sistema multicapa de películas delgadas de SnO 2 , dopadas con CuO, empleando SEM-EDS, XPS y XRD

M.F. BIANCHETTI; N.E. WALSÖE DE RECA; M.P. POIASINA; F.S. GARD

CABA

Encuentro; CaracterizAR 2020 Caracterización de Materiales 1er Encuentro Virtual; 2020

IQUIMEFA-UBA-CONICET, Facultad de Farmacia y Bioquímica, UBA

El SnO 2 puro o dopado, es un óxido metálico, semiconductor, que ha sido empleado,durante mucho tiempo, para construir sensores de gases resistivos de película gruesa. En losúltimos años se ha incrementado considerablemente el uso de películas delgadas paraobtener sensores de gases de tipo resistivo de alta sensiblidad.En particular, hace varios años que el grupo de trabajo de la división de ?MaterialesNanoestructurados para Sensores de Gases? del DEINSO-CITEDEF-CONICET, trabaja en elestudio y construcción de sensores altamente sensibles, usando películas delgadas de SnO 2nanocristalino , puro o dopado. El trabajo se fundamenta en que se comprobó que latemperatura de operación (To) de los sensores construidos con el material microcristalinoconvencional estaba usualmente en un rango de (350-450)oC y que ésta descendía a unrango de (180-200)oC para sensores construidos con el mismo material pero nanocristalino.Por otra parte, la sensibilidad de los sensores construidos con material nanocristalino se haencontrado mayor (30 ? 37) % con respecto a la sensibilidad alcanzada en los dispositivosconstruidos con el mismo material aunque microcristalino .