UNIDEF 23986
UNIDAD DE INVESTIGACION Y DESARROLLO ESTRATEGICO PARA LA DEFENSA
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos. Comparación de resultados
Autor/es:
HUGO FERRERO; DAVID RAVA; LUIS FIDALGO; MONICA B. AGUERO; ALEJANDRO A. HNILO; MARCELO G. KOVALSKY
Lugar:
San Carlo de Bariloche, Río Negro
Reunión:
Congreso; 98 Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2013
Institución organizadora:
Asociación Física Argentina
Resumen:
En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-Switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado del CIOp. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control.
