Diseño de sistema óptico automatizado para ablación láser

J. M. SILVEYRA; J. M. CONDE GARRIDO

Buenos Aires

Conferencia; 103ª Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2018

La deposición por ablación láser (PLD, ?pulsed laser deposition?) es una técnica de deposición de películas delgadas muy versátil y en continuo desarrollo. Consiste en enfocar un haz de luz láser sobre un blanco para lograr su ablación. El material ablacionado se deposita sobre un sustrato, formando una película delgada. Para lograr la ablación, el láser debe entregar una alta energía en un intervalo de tiempo corto. Los láseres pulsados, como los de Nd-YAG, entregan pulsos de unos 10 nanosegundos de duración con frecuencias del orden de los 10 Hz. La forma en la que el blanco es ablacionado es de fundamental importancia para la calidad de las películas depositadas. Las películas de mejor calidad se obtienen cuando el ablacionado del blanco es uniforme.El objetivo de este trabajo es diseñar un sistema móvil de bajo costo para realizar un barrido del haz láser sobre el blanco teniendo en cuenta el tamaño del spot y la frecuencia de los pulsos. Para esto se utilizará un blanco rotante y se realizará un barrido lineal del haz láser mediante la utilización de un espejo y una lente móviles. Se demostrará que el doble control sobre el movimiento de la lente y el espejo conduce a una mejora sobre la uniformidad del spot respecto del modelo anterior (que permitía únicamente el movimiento del espejo). La velocidad del barrido lineal se controlará mediante una plataforma Arduino y podrá ser controlada desde una computadora personal, tablet o teléfono celular.