INTECIN   20395
INSTITUTO DE TECNOLOGIAS Y CIENCIAS DE LA INGENIERIA "HILARIO FERNANDEZ LONG"
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Estudio del particulado en películas delgadas en función del tiempo de deposición
Autor/es:
CONDE GARRIDO JM; BOBADILLA J; SILVEYRA JM
Reunión:
Conferencia; XVI Encuentro de Superficies y Materiales Nanoestructurados Nano 2016; 2016
Resumen:
El objetivo de este trabajo consistióen optimizar la calidad de películas delgadas de vidrios calcogenuros, másespecíficamente correspondientes al sistema AgGeSe, obtenidas por PLD. Especialmente, se buscareducir la aparición de particulado micrométrico sobre la superficie de lasmismas. A lo largo tanto de Laboratorio 6 como de Laboratorio7, se prepararon blancos amorfos, de composición en porcentaje atómico Agx(Ge0,25Se0,75)100-xcon x = 0 y 25, y sustratos de Si/SiO2. En el marco de Laboratorio 7,se depositaron películas delgadas variando los parámetros de deposición.Mediante el tratamiento de las imágenes de estas películas obtenidas por SEM,se estudió el tamaño y la densidad del particulado micrométrico en función deltiempo de deposición, la distancia blanco-sustrato y la fluencia. Se obtuvieronresultados distintos de acuerdo a la composición de los blancos. A partir de laobservación por SEM de los blancos ablacionados, se llegó a la conclusión de queesta diferencia en los resultados se debe a la manera distinta en la que sonablacionados los blancos de las dos composiciones estudiadas. Finalmente, se desarrollóun procedimiento, que a la luz de los resultados obtenidos, permitirá laobtención de películas con menor presencia de particulado y por ende de mayorcalidad.