CONICET | Buscador de Institutos y Recursos Humanos

En la técnica de deposición por ablación láser(PLD, ?Pulsed Laser Deposition?) se utiliza frecuentemente radiaciónultravioleta (UV) de un láser pulsado de alta intensidad, con pulsos periódicosde duración de algunos nanosegundos o femtosegundos, como fuente de energíapara extraer (por absorción fotónica) el material de la superficie de un blancoy depositarlo sobre un sustrato [Frumar 2006].Las propiedades de las películas obtenidas porPLD dependen fuertemente de las características de la deposición, pudiendo sercontroladas variando los parámetros del proceso. Una característica importantede esta técnica es la capacidad de reproducir, sobre el sustrato, lacomposición del blanco con relativa facilidad bajo condiciones adecuadas [Eason2007; Bäuerle 2011]. Esta característica es especialmente importante en eldepósito de materiales calcogenuros, donde la baja energía de enlace de loscalcógenos hace que estos materiales sean más volátiles que los demás lo quedificulta la obtención de películas de estequiometría correcta por técnicascomo evaporación térmica. Las películas multicomponentes para sensoreselectroquímicos son difíciles de fabricar debido a la disociación y a laevaporación fraccionada de los componentes individuales del blanco [Frumar2003]. La técnica PLD es, por lo tanto, la solución más recomendable.El LSA cuenta actualmente con una cámara quepermite el depósito de películas delgadas. Sin embargo, esta cámara posee algunaslimitaciones como: · Permite el depósito de una única composición (nopermite la fabricación de películas multicapa).· Cuenta con lugar para un único blanco y un únicosustrato (por lo que para cada nuevo depósito se debe romper el vacío, cambiarel blanco y/o sustrato y volver a hacer vacío con el correspondiente consumo detiempo).· La geometría de ablación no está optimizada para elbarrido completo del blanco, sino que se realiza por sectores que deben sercuidadosamente monitoreados durante el depósito. Recientemente el LSA ha desarrollado una segundacámara de PLD. En este trabajo se presenta el diseño en SolidWorks® delsistema portablancos que se utilizará en la nueva cámara y que cuenta con:· Posibilidad de utilizar pastillas de polvo compactadocomo blancos. El sistema cuenta con cazuelas reutilizables que permiten lacompactación del polvo para formar la pastilla, su tratamiento térmico (de sernecesario) y uso en la cámara para la deposición.· La opción de rotar continuamente el blanco durante suablación.· La posibilidad de utilizar hasta cinco blancosdistintos.