Caracterización de la estructura de recubrimientos de dióxido de titanio obtenidos por descarga arco

A. KLEIMAN; A. MÁRQUEZ; D.G. LAMAS

Mar del Plata, Argentina

Congreso; Congreso SAM-CONAMET 2005; 2005

Sociedad Argentina de Materiales - Sociedad Chilena de Metalurgia y Materiales

En este trabajo se obtuvieron recubrimientos de dióxido de titanio mediante una descarga arco a baja presión. La descarga fue realizada entre un cátodo de titanio y la cámara de vacío que actuó como ánodo, empleando una corriente continua de 100 A y flujos de entrada de O2 de 30 y 40 sccm. Se utilizaron sustratos de vidrio de 3x3 cm2 ubicados frente al cátodo a una distancia de aproximadamente 23 y 30 cm. Los mismos fueron colocados sobre un calefactor que permite variar la temperatura hasta 400 ºC con una precisión de 50 ºC. Los recubrimientos fueron obtenidos sobre sustratos a distintas temperaturas. La estructura fue analizada por difracción de rayos X (XRD). Las muestras en las cuales el recubrimiento se presentó en fase amorfa fueron sometidas a un tratamiento térmico posterior. Se obtuvieron recubrimientos de TiO2 sin que fuera detectada la presencia de titanio puro u otros óxidos. Dependiendo de la temperatura del sustrato y del calentamiento posterior, se obtuvo TiO2 en fase amorfa, anatasa y/o rutilo.