Caracterización estructural de recubrimientos Ti/TiN obtenidos con un arco catódico

L. S. VACA, D; A. MÁRQUEZ; D. COLOMBO; S. BRÜHL ; J. P. QUINTANA; D. VEGA

Buenos Aires

Conferencia; Conferencia NANO 2016; 2016

Un gran número de investigaciones basadas en tratamientos superficiales están siendo desarrolladas en el mundo buscando mejorar la respuesta tribológica de los aceros. Recubrimientos de TiN por arco catódico son usados industrialmente con este fin utilizando temperaturas de aproximadamente 500 °C, no pudiendo ser aplicados en varios aceros debido a que los tratamientos de endurecimiento previos limitan la temperatura a la que pueden ser expuestos. La combinación de los arcos catódicos con implantación iónica permite que los iones que se depositan para formar el film alcancen el sustrato con mucha mayor energía sin necesidad de calentar a altas temperaturas los sustratos. En este trabajo se presenta la optimización del crecimiento de films delgados bicapas de Titanio/Nitruro de Titanio empleando arcos catódicos e implantación iónica por inmersión en plasmas sobre sustratos de acero inoxidable 316L nitrurado y fundición de hierro austemperada, y su caracterización estructural. Se caracterizó la morfología, composición y estructura de los recubrimientos empleando microscopia óptica, SEM con EDS y difracción de rayos X. Se determinó que el recubrimiento resultó compacto, nanoestructurado con crecimiento en forma columnar con un tamaño de cristalita inferior a los 50nm. Se observó la presencia de macrotensiones compresivas características del método empleado.