Estudio de la transformación de fase de películas delgadas de TiO2 en funcion del voltage de polarizacion

LINA MARIA FRANCO ARIAS; MARIANA FAZIO; EMILIA HALAC; DANIEL VEGA; EDUARDO HEREDIA; ARIEL KLEIMAN; ADRIANA MÁRQUEZ

Iguazu

Congreso; SAM-CONAMET 2013 Congreso Internacionacional de Ciencia y Tecnologia de metalurgia y materiales; 2013

Se crecieron películas de TiO2 sobre sustratos de silicio (100) y acero inoxidable 316L mediante un arco catódico en atmósfera de oxígeno y con un cátodo de titanio. El proceso fue realizado a temperatura ambiente y a 300 ºC, polarizando el sustrato con voltaje pulsado (hasta ?10 kV) y DC (hasta -120 V).Se estudió la estructura cristalina empleando espectroscopia Raman y difracción de rayos X. A temperatura ambiente se obtuvieron películas de TiO2 con una base amorfa con pequeños cristales aislados de rutilo y anatasa. A 300 ºC, empleando polarización DC, crecieron películas cristalinas con presencia de ambas fases, anatasa y rutilo.