CARACTERIZACIÓN DE RECUBRIMIENTOS DE TITANIO PRODUCIDOS POR LA TÉCNICA MePIIID UTILIZANDO UN ARCO CATÓDICO CON FILTRO MAGNÉTICO

MARIANA FAZIO; LINA MARIA FRANCO ARIAS; ARIEL KLEIMAN; DANIEL VEGA; ADRIANA MÁRQUEZ

Iguazu

Congreso; SAM-CONAMET 2013 Congreso Internacionacional de Ciencia y Tecnologia de metalurgia y materiales; 2013

Se crecieron recubrimientos de titanio sobre silicio y acero mediante una descarga arco polarizando las muestras con pulsos de varios kilovolts para aplicar la técnica de deposición e implantación iónica por inmersión en un plasma metálico (MePIIID). Se estudiaron los recubrimientos utilizando difracción de rayos X y microscopía de fuerza atómica. La estructura cristalina de los recubrimientos es consistente con la red hcp de titanio, con una orientación preferencial en la dirección (100). En los recubrimientos sin implantación crecidos en dos descargas se observa la presencia de dos parámetros de red c distintos. Al aplicar la técnica MePIIID la deformación de los picos de difracción, y la disminución en el ancho de las columnas indican notorios cambios estructurales asociados a la disminución del tamaño de cristalita. Se estimó el tamaño de cristalita en ~130 nm sin implantación y en ~10 nm con implantación.