INFINA (EX INFIP)   05545
INSTITUTO DE FISICA INTERDISCIPLINARIA Y APLICADA
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Diseño de un filtro de macropartículas con una isla magnética para un arco catódico
Autor/es:
A. KLEIMAN; A. MÁRQUEZ; D. GRONDONA; H. KELLY; R. BOXMAN
Lugar:
San Luis
Reunión:
Congreso; 91ª Reunión Nacional de la AFA; 2006
Resumen:
Los arcos catódicos resultan muy atractivos en la producción de recubrimientos superficiales por la alta tasa de evaporación y por las propiedades de los films depositados. Esta técnica se basa en dos electrodos inmersos en una cámara de vacío, entre los cuales se produce una descarga eléctrica de alta corriente y baja tensión. Desde la superficie del cátodo es eyectado un haz de iones metálicos que es interceptado por un sustrato sobre el cual crece el recubrimiento. Junto con los iones, el cátodo también emite gotas de material metálico denominadas macropartículas. Para mejorar la calidad de los recubrimientos se emplean filtros, cuyo objetivo es evitar la llegada de macropartículas al sustrato logrando una máxima eficiencia en la transferencia del plasma metálico. Los más utilizados emplean conductos magnéticos curvados que guían a los iones hasta el sustrato. Si bien estos filtros han resultado eficientes en la reducción del número de macropartículas sobre el sustrato, presentan una disminución en la tasa de deposición de los iones. En este trabajo se presenta el diseño de un filtro de macropartículas basado en una isla magnética. El mismo consiste en un conducto magnético recto, formado por tres bobinas externas a la cámara de vacío, y una bobina pequeña (isla magnética) colocada dentro de una caja metálica en el interior de la cámara, centrada en el mismo eje que las anteriores. La bobina interna genera un campo con sentido inverso al generado por las externas, de manera que las líneas de campo se curvan bordeando la isla. De esta forma, los iones metálicos se mueven desde el cátodo hacia el sustrato esquivando a la bobina, mientras que las macropartículas se depositan sobre las paredes de la cámara y sobre la pared frontal de la isla. La transferencia de iones se logra con campos relativamente bajos (~ 50 G), similares a los que se emplean en los filtros curvos, pero con una mayor eficiencia.