INFINA (EX INFIP) 05545
INSTITUTO DE FISICA INTERDISCIPLINARIA Y APLICADA
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Películas de TiO2 crecidas por arco catódico: Respuesta eléctrica en el sensado de gases
Autor/es:
ARIEL KLEIMAN; ADRIANA MÁRQUEZ
Lugar:
Rosario
Reunión:
Congreso; SAM/CONAMET 2011; 2011
Institución organizadora:
SAM
Resumen:
En este trabajo se presenta una caracterización preliminar de películas de TiO2 anatasa, crecidas por arco catódico sobre sustratos de vidrio, con vistas a su implementación en el sensado de gases. Se estudió el comportamiento de la resistencia eléctrica de los films al variar la temperatura (200 ? 300 ºC) y la presión ambiente (102 ? 105 Pa) en atmósferas de aire y O2. Se estudiaron muestras sintetizadas a 400 ºC y muestras crecidas a temperatura ambiente, luego calcinadas a 400 ºC.La sensibilidad de la película ante los cambios en la presión fue mayor en el caso de los films crecidos a alta temperatura. Además, la sensibilidad aumentó al incrementarse el espesor de la película. En todos los films se observó también una disminución en la sensibilidad al aumentar la temperatura de trabajo durante las mediciones.
